ㅇ Surface profile measuring system - Stage size : 15cm이상, 클수록 좋음 - Max. line length : 50mm 이상 - Max. data point : 60,000# 이상 - Stylus force : 0.2~10mg 범위를 포함하여 programmable - Tip radius : 2.0um - Camera: color, motorized zoom, X160 이상 가능 - Sample thickness : 최대 30mm 이상 - Motorized stage : 자동 3D scanning 가능 - Vertical 측정 range: 최대 400um 이상 - Vertical resolution : 최대 1A 까지 - Vacuum stage or chuck - 220V 전원 사용 - Step hight repeatability : 1 sigma - Stylus quick change 기능 - Environmental enclosure 가능