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- i-Tube No. 0712-Z-0170
- NTIS No NFEC-2009-10-075637
- 설치기관 한국생산기술연구원
- 주소 광주광역시 북구 첨단과기로208번길 6,(오룡동)
- 담당자 김영백 (T. 062-600-6520 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
세정엔지니어링CO
-
모델 명
CRO-60GH
내용연수5년
-
구분
주장비
용도기타
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 건조시스템
-
취득일
2007-12-17
취득금액44,698,916원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료9,312원
장비설명
- Chamber Volume : 1170 L - Size / internal : 1100 × 1000 × 1400 /mm - External : 1600 × 1300 × 2000 /mm - Temp. Range : 5 ℃ ~ 250 ℃ - Temp. Controller : Micro processor PID controller - Material : in/Stainless steel(SUS304) out/ Stainless steel(SUS304) - Door : Silicon packing door with window - Safety devices : Over/ under temp. protector - Power Consumption : 220 V/60 Hz
장비 구성 및 성능
○ Temp. Controller에 의해 일정 온도를 유지 부품이나 기구의 baking
- PR 재료 Drying, Aging
- Polymer Thermal curing
- Glass/Wafer 세정 후 건조
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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