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- i-Tube No. 0711-Z-0117
- NTIS No NFEC-2008-02-055995
- 설치기관 한국생산기술연구원
- 주소 광주광역시 북구 첨단과기로208번길 6,(오룡동)
- 담당자 김영백 (T. 062-600-6520 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
(주)코썸사이언스
-
모델 명
uSurf
내용연수5년
-
구분
주장비
용도계측
-
표준 분류
기타 > >
-
취득일
2007-11-19
취득금액173,098,712원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태장비 사용료
36,062원
장비설명
- x/y positioning module : 200 mm x 200 mm- Z-drive : 350 - Objective Lens : 10x, 20x, 50x, 100x- Field of view- objective 10x : 1600 x 1600 (㎛)- objective 20x : 800 x 755 (㎛)- objective 50x : 320 x 302 (㎛)- objective 100x : 160 x 160 (㎛)- Resolution- Vertical resolution : 1 nm- Lateral resolution : 0.31 ㎛
장비 구성 및 성능
표면위의 단차가 있는 박막 두께 및 Step profile 측정, 표면조도 거칠기, 박막두께측정, 미세형상측정, 표면단차 측정
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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