뉴영엠테크㈜
RTA200H
5년
주장비
기타
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2007-07-16
640,000,000원
고정형
133,333원
- Substrate & type : pieces Max 8inch, Flat & Notch pieces 200*200- Process temperature : 1100도 by Pyrometer (Wafer) 450도 by Pyromete (Glass)
Halogen carbon Lamp를 열원으로 상하부 여러 개의 Lamp를 원형으로 장착하여 glass wafer내의 Temperature Uniformity 를 조절하며 소자의 물성을 향상