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- 노광기
- i-Tube No. 0706-Z-0139
- NTIS No NFEC-2007-11-047426
- 설치기관 한국생산기술연구원
- 주소 광주광역시 북구 첨단과기로208번길 6,(오룡동)
- 담당자 김영백 (T. 062-600-6520 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
㈜신코
-
모델 명
MA8
내용연수5년
-
구분
주장비
용도분석
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
-
취득일
2007-06-28
취득금액486,657,450원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
건별
장비 사용료101,387원
장비설명
. Substrate : Max. 200 mm × 200 mm . Mask size : 2.5, 3, 5, 7, 9 × 9 inch . Exposure Optic : Hg-Lamp 1000 W (I-, H-line) . Resolution : Soft/hard, contact : 1 ~ 2 ㎛, Vacuum contact : < 0.7 ㎛ .Alignment methods : Top side & Bottom side
장비 구성 및 성능
○ PR coating된 Substrate에 패턴형성 - Wafer나 Glass Substrate를 정밀정렬하고, UV광원으로 노광하여 Mask상의 회로를 Wafer에 복사, 형성하는 장비 - 200 mm × 200 mm Size 대응 및 flexible 대응
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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