세정대상샘플을 세정한 후에 그 세정효율을 정량적으로 평가하는 데 사용되는 연구기자재이다. 각 세정기술별로 그 평가시스템을 구축하는 데 있어, 각 세정조건 별 세정효율을 정량적으로 평가하는 것이 무엇보다 중요한다. 이에 구매하고자 하 는 FE-SEM/EDX는 피세정물에 대하여 그 세정 전, 후의 표면사진을 촬영하여 세정 효율을 평가할 수 있으며, EDX는 각 오염물질의 종류파악 등의 정성적인 평가에 사용된다. 그러므로 본 구입예정 장비와 미립자 발생기, SMPS 시스템, Contact angle measuring system과 함께 사용된다면, 각 세정기술별 최적의 세정조건을 효과적으 로 찾아내는데 공헌할 것으로 판단된다.