"SMPS시스템은 입자를 크기별로 분리하는 Electrostatic Classifier와 입자의 개수농도를 측정하는 Condensation Particle Counter로 구성되어 있 다. Electrostatic Classifier로 원하는 크기의 입자만을 분리시켜 세정대상으로 하는 Plate에 균일하게 오염시킬 수 있으며, 동시에 그 때의 퇴 적되는 입자의 개수를 Condensation Particle Counter를 이용하여 측정할 수 있다* SMPS 시스템 구성용 1set 1. Electrostatic Classifier (Model 3080) 1EA 2. Condensation Particle Counter (Model 3775) 1EA 3. SMPS Interface Hardware and Software 1EA 4. Export Documentation, Handling and Inland Freight 1"