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- i-Tube No. 0710-Z-0168
- NTIS No NFEC-2008-08-062997
- 설치기관 한국산업기술시험원
- 주소 경기도 안산시 상록구 해안로 723 (사동, 한국산업기술시험원)
- 담당자 권기봉 (T. 031-500-4072 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
KLA-TencorADEDivision
-
모델 명
3-DSurfaceProfiler
내용연수5년
-
구분
주장비
용도시험
-
표준 분류
기타 > >
-
취득일
2007-10-05
취득금액136,921,256원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
기타
장비 사용료100,000원
장비설명
- PSI (phase) and VSI mode (vertical) with patented noise suppression technology
- 100 µm closed loop piezo stage and 10mm z-stage for VSI scanning mode
장비 구성 및 성능
- Sample stages up to 8” (200mm) with full stage travel
- X-Y stage options supporting manual, motorized, and programmable 4,6, and 8” (100, 150, and 200mm)
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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