특징
- 측정Sample Size : Up to 200mm diameter and 50mm thick
- S/W : Cross section analysis
- Roughness measurement, Grain size
- Depth analysis, Histogram analysis, Flatten, Planefit



활용분야
포항나노기술집적센터 측정분석그룹은 나노소재ㆍ재료 영역에서 세계 최고수준의 분석장비를 갖추고 각 분야별 전문가들로 구성되어 3차원 토털 분석 서비스를 지원하고 있습니다. 우리는 반도체, 디스플레이, 철강, 에너지 등의 산업분야에서 관련 소재의 원자단위 구조분석과 ppm~ppb 단위 성분분석을 지원하고 있으며 특히 능숙한 pin-point 영역 시편제작 기술을 통해 극 미세 특정영역에서 분석이 가능하도록 시스템을 갖추고 있습니다.

특히 2대의 구면수차보정 전자현미경을 통해 High resolution HREM 분석 뿐 아니라 STEM의 BF, HAADF 이미지 및 나노수준의 EDS, EELS 성분 분석이 서비스되고 있으며, 국내 유일한 3D Atom Probe Tomography 기술을 통하여 구성성분의 3차원적 위치분석 및 ppm 단위 농도분석을 구현하고 있고 또한 최신의 SIMS 분석을 통해 박막, 에너지소재, 철강 등의 ppb 단위 정량분석 서비스를 지원하고 있습니다.

측정분석그룹은 산업체의 불량분석 및 애로기술 지원, 학연의 연구결과 도출 지원 및 양질의 논문을 위한 분석지원에 많은 경험과 노하우를 가지고 있으며 특별히 reverse engineering을 포함하여 특허창출 및 분쟁해결을 위한 기술지원 경험도 보유하고 있어 명실상부한 국내 최고수준의 나노측정분석그룹으로 자리매김 하고 있습니다.