에이피텍(주)
NOVA600
5년
주장비
분석
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2006-01-02
1,055,368,645원
고정형
219,868원
- Schottky type UHR FE-SEM, 1.0@15kV,1.0@30kV(STEM) - Magnum Ion Column - Plastics & Polymers Sample stage travel 25×25mm manual micrometer - Stage: 5-axis motorized stage - Size: Max. 6in wafer - Option: EDS, EBSD, STEM, Manuplator - Auto TEM Samp
・ Primary ion beam이 시편 표면에 충돌할때 생성되는 sputtered ions 이나 secondary electrons 으로부터 나온 signal이 모여져 이미지를 형성