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- i-Tube No. 0705-A-0188
- NTIS No NFEC-2008-09-067373
- 설치기관 (재)충북테크노파크
- 주소 충청북도 청주시 청원구 오창읍 연구단지로 76 (양청리)
- 담당자 박동희 (T. 043-270-2000 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
HORIBA
-
모델 명
UVISEL/M200, RT-80
내용연수10년
-
구분
주장비
용도계측
-
표준 분류
광학·전자 영상장비 > >
-
취득일
2007-05-29
취득금액439,714,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료73,470원
장비설명
용도
- 반도체 박막특성분석
01) Thickness Measurement
02) Roughness
03) Uniformity
04) Index of Refraction
장비 구성 및 성능
사양
1- 측정범위 : 1Å~1㎛
2 - 파장범위 : 240~850nm
3 - 측정빔의크기 : 50, 100, 1000㎛
4 - 측정시편 : piece~30mm
5 - XY Position Accuracy : 5㎛
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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