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- 프로브 스테이션
- i-Tube No. 0701-D-0086
- NTIS No NFEC-2008-08-064467
- 설치기관 한국전자기술연구원
- 주소 경기도 성남시 분당구 새나리로 25,(야탑동)
- 담당자 김동수 (T. 031-789-7218 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
Cascade Microtech
-
모델 명
SUMMIT 11741B-6
내용연수3년
-
구분
주장비
용도계측
-
표준 분류
전기·전자장비 > 측정시험장비 > 달리 분류되지 않는 측정시험장비
-
취득일
2007-01-20
취득금액85,702,026원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
기타
장비 사용료0원
장비설명
-반도체소자 또는 웨이퍼의 전기적인 특성을 측정하기 위하여 사용되는 탐침장비
-Ground-Signal-Ground (GSG) 등의 Probe Tip과 DC Needle을 이용한 Contact을 DUT의 전기적 특성을 추출함.
장비 구성 및 성능
-Chuck Stage : Manual
-Chuck Size : 6 inch thermal check
-Movement Range : 150 mm for x,y and 5 mm for z
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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