HITACHI
s-4800
3년
주장비
분석
광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
공동활용서비스
2007-08-28
343,280,778원
기관의뢰
고정형
시간별
90,000원
Field Emission Scanning Electron Microscope.
- 전기전자부품의 정밀 형태관찰
- 전기전자부품의 정밀형태 관찰
- 시료의 구성원소 분석에 사용됨.
- Column
ᆞ Secondary electron image
- resolution
ᆞ 1.0nm at 15kV or better
- Display
ᆞ Image display system
- Vacuum pump system
ᆞ Vacuum sequence : Fully automatic evacuation