질화물계 화합물반도체 박막 성장 장비
◦적용가능 기판크기 : 6×2" wafer
◦적용가능 기판 : Al2O3, Si 등 　
◦장비 구성
- Spectra Blue(6×2") Growth cabinet system (1set)
- Gas panel system
- MO source : TMGa, TMAl, TMIn, Cp2Mg 등 4종 및 spare 1종
- Hydride gas :NH3, Si2H6 등 2종
- Pump system : 저압 성장을 위한 chamber의 Ebara pump,
loadlock chamber의 varian pump
- Substrate rotation : Max 1500rpm
- Temp. monitoring system : Sekidenko two-sensor pyrometer에
의한 monitoring (Max : 1200℃)
- Epimetric in-situ monitor with a single head (real time 두께
monitoring system)
- Zellweger analystics CM4 gas monitor : 1set