듀얼 모니터와 Stage, Focusing Module로 구성. 기판 사이즈는 25*25~370*470mm까지 가능하며 측정 영역은 40um(5x), 20um(10x),10um(20x), 4um(50x)임. Focus는 Auto Focus가 가능하고 두께 측정은 10nm~50um, 투과 측정은 420nm~730nm 영역이 가능함.