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- i-Tube No. 0710-A-0139
- NTIS No NFEC-2008-08-063627
- 설치기관 한국전자기술연구원
- 주소 전라북도 전주시 덕진구 반룡로 111,(팔복동2가)
- 담당자 김일구 (T. 063-219-0013 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
에스엔유프리시젼(주)
-
모델 명
SIS-3747
내용연수9년
-
구분
주장비
용도계측
-
표준 분류
광학·전자 영상장비 > 광파발생/측정장비 > 달리 분류되지 않는 광파발생/측정장비
-
취득일
2007-10-31
취득금액198,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료60,000원
장비설명
- 본 장비는 광학방식을 이용하여 샘플의 표면 형상을 측정하는 장비임.
- 샘플의 3차원 형상 측정이 가능하여 샘플 분석이 가능하고 단차 측정도 가능하여 패터닝된 샘플의 두께 측정도 가능한 장비임.
장비 구성 및 성능
Substrate Size : 370x470mm, Field of View : 0.05 ~ 3.5mm, Objectives : 2X ~ 100X, Measurement range : 0.1 ~ 150um
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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