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- i-Tube No. 0709-F-0125
- NTIS No NFEC-2008-08-063272
- 설치기관 한국전자기술연구원
- 주소 전라북도 전주시 덕진구 반룡로 111,(팔복동2가)
- 담당자 김병량 (T. 063-219-0036 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
Kla-tencor
-
모델 명
Tencor P-16+
내용연수10년
-
구분
주장비
용도계측
-
표준 분류
물리적 측정장비 > 길이/위치측정장비 > 달리 분류되지 않는 길이/위치측정장비
-
취득일
2007-09-17
취득금액68,037,782원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료49,000원
장비설명
- 본 장비는 접촉방식을 이용하여 단차가 있는 샘플의 단차 차이를 나노 스케일에서 측정 가능한 장비임.
- Stylus를 이용하여 스캔 방식으로 일정 영역을 스캔하여 샘플의 단차뿐만 아니라 표면 형상도 계측이 가능함.
장비 구성 및 성능
Substrate Size:200mm (8"), Vertical Range:327um, Scan Length Range : 80mm, Field of View:0.67~4.29mm, Force :0.5~50mg
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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