- 클러스터형 기판 로딩 및 이송 챔버 (Transfer Module)- 플라즈마 화학기상 박막 증착 챔버 1 (PECVD: p-doped a-Si:H )- 플라즈마 화학기상 박막 증착 챔버 2 (PECVD: Intrinsic a-Si:H )- 플라즈마 화학기상 박막 증착 챔버 3 (PECVD: n-doped a-Si:H )- 금속 박막 증착 챔버 4 (E-beam Evaporator: Al,Ag)- Sputtering 박막 증착 챔버 5 (Sputter Module: ZnO,Al)- GAS LINE & VACUUM SCHEMATIC- VACUUM PUMP- 접촉각 측정기- SCRUBBER- 운영 및 제어 장치- 안전 장치