X-선을 발생시켜 시료를 조사할 때 생기는 회절 패턴을 이용하여 원소의 화학적 결합상태, 잔류응력 및 집합조직에 대한 문제등 물질구조 및 성분 분석에 기본적으로 사용되는 첨단 장비로 특히 화합물분석, FINE CERAMIC 등의 신소재 등의 연구, 개발과 생산된 제품의 분석에 있어서 필수적인 장비이다.또한 X-선을 시료에 조사하여 재료의 상분석, 결정구조, 고온 및 저온에서의 상변화, 가공 후 재료 내부의 잔류응력, 모재와 박막층 또는 이상계면에서의 결정방위 관계, 박막두께 및 표면거칠기, 가공방향 및 가공정도에 따른 집합조직의 결정방위를 해석할 수 있다.