0.1nm의 정밀도로 측정물의 표면을 측정할 수 있는 장비입니다. 탐침과 시편 사이에 발생하는 원자간의 힘을 이용하여 측정하는 AFM 탐침과 시편 사이에 발생하는 터널링 전류를 이용하여 측정하는 STM 등 여러 모드로 측정이 가능합니다. 또한 indentation 및 scratch 실험을 통해 재료의 여러 특성을 확인할 수 있습니다.