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- 듀얼빔 이온집속장치
- i-Tube No. 0909-A-0004
- NTIS No NFEC-2010-12-126731
- 설치기관 한국전자기술연구원
- 주소 전라북도 전주시 덕진구 반룡로 111,(팔복동2가)
- 담당자 강혜정 (T. 063-219-0151 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
FEI
-
모델 명
Quanta 3D FEG
내용연수11년
-
구분
주장비
용도분석
-
표준 분류
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
-
취득일
2009-09-10
취득금액1,084,974,214원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료246,000원
장비설명
Ga 이온빔 에너지를 고압(30kV)으로 집속 가속하여 시료의 표면에 도달하여 발생하는 2차 이온 에너지를 검출하여 image 화상을 얻을 수 있음.
불량 분석 및 샘플의 modify가 가능하도록 단면 milling, deposition 가능.
장비 구성 및 성능
Electron optics
- Resolution : 1.2nm@30kV
- Detector : SE, BSE, STEM, ESEM mode
Ion optics
- Resolution : 7nm@30kV
- Beam Current : Up to 65nA
Add on
- GIS(Gas Injection System) : Pt
- Omni probe
- EDX + EBSD
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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