(주)선익(현, ㈜선익시스템)
Sunicel plus 200
12년
주장비
기타
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2008-12-10
1,146,000,000원
고정형
시간별
254,000원
본 장비는 Thermal Evaporation 기술을 이용하여 유기물 및 금속재료를 기판에 증착 할 수 있는 장비임. 저분자 유기 박막 증착 및 Metal 전극 증착 (OELD 면조명 제작) 디스플레이 단위 소자 제작 및 평가 (OLED Full color 제작) 유기 Solar cell 소자 제작 및 평가
Substrate Size : 200 x 200 mm * System Configuration : - Plasma Treatment Chamber : Ar O2 N2 CF4 - Organic Chamber : Low