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- i-Tube No. 0910-C-0167
- NTIS No NFEC-2010-12-119991
- 설치기관 한국전자기술연구원
- 주소 전라북도 전주시 덕진구 반룡로 111,(팔복동2가)
- 담당자 이승현 (T. 063-219-0012 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
㈜테스
-
모델 명
개발장비
내용연수12년
-
구분
주장비
용도기타
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
-
취득일
2009-10-30
취득금액2,373,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
건별
장비 사용료169,000원
장비설명
본 장비는 무기박막 증착장비로써 다양한 박막의 증착이 가능한 클러스터 타입 멀티 챔버로 구성되어 있으며, 유기 박막 및 무기박막의 건식 에칭이 가능한 Dry etcher가 포함되어 있음. 또한 진공 내에서 고온의 열처리가 가능함.
장비 구성 및 성능
총 5종의 챔버로 구성되어 있으며, 370*470mm(2세대)의 글라스 기판Sputtter, PECVD, Dry Etcher, Evaporator, RTA, Rotator로 구성되어 있고 진공에서 각각의 챔버를 연속적으로 사용 가능
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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