- 공정 가스 제어 장치
⒜ Gas line :
SiH4/N2, N2O, NH3, O2, N2, He,
⒝ 각 가스 라인에 연결된 메탈 실링된
MFC[Ar, N2, N2O, O2, SiH4, NH3]
- 열교환기 또는 chiller : 상부 전극을
10~80℃까지 제어하기 위한 자동 열교환기
- 펌프 & 펌프 하드웨어 통합 시스템
⒜ 펌프 하드웨어 통합 시스템 :
⒝ PE CVD 공정용 펌프 : 러핑 펌프 패키지 (32 CFM 이상) 사용