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- i-Tube No. 0801-C-0230
- NTIS No NFEC-2008-08-063379
- 설치기관 한국전자기술연구원
- 주소 전라북도 전주시 덕진구 반룡로 111,(팔복동2가)
- 담당자 이승현 (T. 063-219-0012 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
에스엔유프리시젼(주)
-
모델 명
HELISYS-XP
내용연수12년
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구분
주장비
용도기타
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
-
취득일
2008-01-01
취득금액2,474,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
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사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료412,000원
장비설명
ITO박막 전처리,다층 유기물 성막, 금속전극 성막, 보호막과 봉지 공정 등 일괄공정을 통한 OLED 소자 제작이 가능하며, 잉크젯 프린터와 집적되어 유기잉크를 사용 원하는 부분에 직접패터닝 가능
장비 구성 및 성능
Substrate : 370x470mm, Effective Area : 340x440mm, Metal Deposition Uniformity : ＜± 7%, Metal & Encap. Alignment : ≤ 100um
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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