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- i-Tube No. 0706-F-0050
- NTIS No NFEC-2009-10-072560
- 설치기관 (재)서울테크노파크
- 주소 서울 노원구 공릉동 172번지 서울테크노파크 604호
- 담당자 윤원호 (T. 02-944-6026 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
Veeco
-
모델 명
Dektak 150
내용연수9년
-
구분
주장비
용도분석
-
표준 분류
물리적 측정장비 > 길이/위치측정장비 > 달리 분류되지 않는 길이/위치측정장비
-
취득일
2007-06-01
취득금액89,485,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료20,000원
장비설명
특징 표면 측정으로부터 3-D mapping을 포함하여 다각적인 분석자료를 제공
장비 구성 및 성능
구성및성능⦁ 웨이퍼 표면 금속 에지 균질도⦁ 박막 강도 계산⦁ 전도성 필름/포토레지스터 두께, 박,후막 측정⦁ 마이크로렌즈 높이, 곡률 그리고 V그루브 깊이 해석⦁ 거칠기 연구⦁ 높은 AR 비율의 트렌치 깊이 측정⦁ 100 angstrom 보다 더 낮은 필름 두께 측정
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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