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- i-Tube No. 0805-C-0002
- NTIS No NFEC-2007-10-014233
- 설치기관 서울대학교
- 주소 서울특별시 관악구 관악로 1 (신림동, 서울대학교)
- 담당자 박유경 (T. 02-880-8645 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
Centrotherm
-
모델 명
E1200 HT 260-3
내용연수11년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
-
취득일
2008-05-30
취득금액647,204,710원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰 직접사용
설치형태고정형
-
사용료 형태
건별
장비 사용료400,000원
장비설명
Metal공정이 진행되어진 Wafer는 투입할 수 없음 .
.공정진행 전 반드시 Cleaning을 진행하여야 함 .
.박막의 두께가 다를 경우 필히 step을 따로 만들어야 함...
장비 구성 및 성능
Nitride(최대 0.3㎛), Poly si(최대 0.5㎛),α-Si(최대0.3㎛) 박막 증착가능
증착 두께의 Guarantee 범위 : Poly - Si : 500 Å ~ 1um, α-Si : 100 Å ~ 3000Å, Nitride : 50Å ~ 3000Å
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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