Auto loading 박막 두께 측정 SiO2/Si ->30000A
Si3N4/Si ->20000A
Poly ->2000A (Poly의 종류에 따라서 변화가 있음)
PR ->30000A
* Multi Layer 측정도 가능함.(두께에 따라 달라짐)
Si3N4/SiO2/Si
Poly/SiO2/Si
4“ ~ 8” 까지 측정 가능(시편 불가능)
Metal 측정 불가
측정하고자 하는 sample이 pattern일 경우 측정하지 못함