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장비정보

제작사
NIDEK Corp.
모델 명
FT-900

내용연수
11년
구분
주장비

용도
계측
표준 분류
물리적 측정장비 > 표면특성측정장비 > 표면장력/접촉각측정장비
취득일
2007-02-08

취득금액
218,861,792원
인증정보
제우스
기능
- 제조사 : Nidek
- 모델명 : FT-900
- 가격 : 218,861,792원(2007년)
- Light source : He-Ne Laser(632.8A, 5mW)
- Sample size : Max. Φ200㎜
- Sample thickness : 0.25~2㎜
- Sample types : Wafer, discs etc.
- Display resolution : 0.01㎛
- Measure Type : BOW, SORI, TTV(GBIR)
장비 상세설명
화합물 반도체 웨이퍼 평탄도 측정 지원 및 화합물 반도체 웨이퍼/기타 다양한 재료의 시편 가공 공정 개선을 위한 공정 조건별 가공도 측정 지원 화합물 반도체 웨이퍼/ 기타 재료 관련 업체의 샘플 표면 보증 지원등을 위한 장비이다.

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
기타

장비 사용료
20,000원

장비설명

Wafer 형태의 실리콘, 화합물, 산화물, glass와 금속판이나 디스크 형태의 알루미늄, Glass나 마크스크 같은 얇은 형태의 재료의 형상등의 평탄도 및 SORI, TTV 측정하는 장비입니다. 측정 가능한 sample의 크기는 최대 6인치입니다.

장비 구성 및 성능

- Light source : He-Ne Laser(632.8A, 5mW)
- Sample size : φ200mm or under
- Sample types : Wafer(silicon, compound, oxides of glass), discs(aluminum or glass), mask, etc.
- Display resolution : 0.01㎛
- Measure Area : outer edge : 0.1mm ~ 0.01mm Step setting available
- Measure Type : GBIR, SORI, BOW, TV, GFLR, GF3D etc.
- Sample thickness : 2000㎛ of under (250㎛~1000㎛ or under for flatness measurement)
- Display function : Raw data, bird’s-eye view, contour map, cross-section view, measured values, measuring parameters, map data, etc.

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장비 매뉴얼