뾰족한 프로브와 표면간의 원자간힘 또는 터널링 현상을 이용하여 물질의 표면을 원자단위까지 관찰할 수 있으며, 이 프로브를 주사시켜 표면의 3차원 형상을 구성함
1. X-Y scanner - scan size : 50×50㎛, X-Yresolution : <0.15nm,
2.Z scanner - scan size : 12 μm, resolution : 0.05nm
3. Mode - AFM, NC-AFM, LFM, MFM, EFM, DC-EFM, FMM, I-AFM