나노 미터 단위의 3차원 위치 제어(나노미터 분해능의 위치 제어 및 정렬)
3 출 위치 제어 Closed-loop travel length : 200 μm(X축) 200 μm(Y축) 20 μm(Z축;수직 축) 이상 Closed/open-loop resolution : 2 nm 이하 (X Y축) 0.1 nm 이하(Z축)
Close-loop travel : 300 × 300×300 um open-loop ** resolution : 1nm Dynamic operating current coefficient(DOCC) : 3.1 3.1 6.2 uA Unloaded resonant frequency (f0) : 120 120 240 kHz