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- i-Tube No. 0706-C-0029
- NTIS No NFEC-2008-09-066022
- 설치기관 경희대학교산학협력단
- 주소 경기도 용인시 기흥구 덕영대로 1732(서천동 1) 경희대학교 산학협력단
- 담당자 김지숙 (T. 031-201-3295 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
마이다스시스템
-
모델 명
MDA8000
내용연수10년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
-
취득일
2007-06-15
취득금액71,500,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료59,000원
장비설명
Photolighthography 공정에서 기판에 감광액을 도포한 이후 mask를 사용하여 UV을 조사하여 원하는 전극 pattern을 형성하는데 사용한다. 기판과 mask 사이의 정밀한 align이 가능하며 유리 및 플라스틱 기판에 적용할 수 있다.
장비 구성 및 성능
- Light source system : 1kW Hg Lamp- Substrate size : Max 8”- Mask size : 7”× 7”- Chuck : 150 × 150 square
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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