Advanced Energy, 증착기용 고주파 발생장치, <10-5 torr
구 성 : 유기물/금속 증착용 증착기, 소자 제조 및 측정용 글러브 박스 유기 및 금속 chamber Source : 3 organic source and 3 metal source- 금속 chamber source : 4 metal source- 진 공 : rough pump 및 고진공용 cryopump 설치되어야 함- 제 어 기 : 19 인치 콘트롤 패널, PLC base control- 안전장치 : Safety alarm 및 interlock- 진공 챔버 규격 : 500 (W) x 500 (L) x 600 (H) mm표 시 창 : 디지털 LCD글러브 박스 스펙 : 수분 및 산소 농도 1 ppm 이하 유지 Purifier & Regeneration Unit* Molecular Sieve and Redox* Blower: 40 CFM* Photohelic gauge기판 크기: 6 인치 기판 holder unit: z-motion, heating BJ4및 rotation 가능C. AccessoriesSystem Frame Source Crucibles and Boats Electrode Mask