국제일렉트론
KE-802
9년
주장비
교육
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 열증착기
2007-05-31
275,000,000원
고정형
기타
0원
Thermal flat zone
: 800mm
Temperature range
: 300~850℃
Number of accommodated cassettes
: 8
Temperature control
: DDC,PID control
Control points
: 4zones
Resolution
: 0.1℃
Precision
: ≤±1.5℃
Thermal flat zone
: 800mm
Temperature range
: 300~850℃
Number of accommodated cassettes
: 8
Temperature control
: DDC,PID control
Control points
: 4zones
Resolution
: 0.1℃
Precision
: ≤±1.5℃