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- i-Tube No. 0710-Z-0025
- NTIS No NFEC-2007-12-050966
- 설치기관 경북대학교
- 주소 대구 북구 산격3동 경북대학교 산학협력단
- 담당자 모헌종 (T. 053-950-7510 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
HITACHI
-
모델 명
LD5011iA
내용연수10년
-
구분
주장비
용도교육
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
-
취득일
2007-10-12
취득금액96,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
기타
장비 사용료84,000원
장비설명
* PR slope:80도 * Wavelength: = 365nm only * Magnification: 1.5배 축소노광 * Wafer Thickness : 500nm 700um * 기판크기 : 6inch Wafer
* 분해능 : 1.3um Pitch(Line 0.5um+ Space 0.8um) * Light Source : Mercury Lamp 600W * 조도 :150Lux 이상 * 적상노광량 : 400±5mj/㎠ * HgV 25V
* HgI 50A
* 4 Casset Loader
* 9*9 shot
* LOCOS Photo 0.085 sec
* FG Photo 0.085 sec
* CONT Photo 0.65 sec
장비 구성 및 성능
* PR slope:80도 * Wavelength: = 365nm only * Magnification: 1.5배 축소노광 * Wafer Thickness : 500nm 700um * 기판크기 : 6inch Wafer
* 분해능 : 1.3um Pitch(Line 0.5um+ Space 0.8um) * Light Source : Mercury Lamp 600W * 조도 :150Lux 이상 * 적상노광량 : 400±5mj/㎠ * HgV 25V
* HgI 50A
* 4 Casset Loader
* 9*9 shot
* LOCOS Photo 0.085 sec
* FG Photo 0.085 sec
* CONT Photo 0.65 sec
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