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- i-Tube No. 0606-A-0040
- NTIS No NFEC-2007-12-054456
- 설치기관 한양대학교산학협력단
- 주소 서울특별시 성동구 왕십리로 222,한양대학교내 한양종합기술연구원 110호(행당동)
- 담당자 안진호 (T. 02-2220-0407 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
위즈옵틱스
-
모델 명
Zygo IntereferometerSystem6090-0230-01*2,6024-0371-02*1,6024-0161-01*2,6024-0304-01*1,6024-0455-01*1
내용연수9년
-
구분
주장비
용도계측
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표준 분류
광학·전자 영상장비 > 광파발생/측정장비 > 달리 분류되지 않는 광파발생/측정장비
-
취득일
2006-06-22
취득금액63,680,400원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태장비 사용료
원
장비설명
극자외선을 이용한 반도체 리소그라피 장비
장비 구성 및 성능
4인치 및 8인치 웨이퍼 상에 미세 회로 구현 반사형 광학계를 이용해 제작한 극자외선 마스크를 이용하여 웨이퍼 상에 코팅된 극자외선 레지스트레 미세 회로를 구현함.
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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