미세한 size의 sample을 IR광을 측정하고자 하는 부분에 Focusing하여 분석하는 장치로 주로 미세한 sample이나 defect분석에 유용한 장비이다.미세시료에 대해 IR Beam의 광 흡광도․투과도를 봄으로써 시료가 가지고 있는 IR Beam에 대한 고유 지문영역 (Finger Print)을 이용하여 정성․정량분석을 하는 장비로 모든 유기물, 무기물, 반도체 Wafer, Polymer 등은 물론 미지 화합물을 연구할 수 있는 Main FT-IR 장비와 함께 사용되는 분석 장비이다.