상부 모듈에는 플라즈마 소스와 gas shower head가 있으며, 하부 모듈에는 공정 조건에 따라 내부 온도를 400'C까지 상승할 수 있도록 Heating stage가 구성되어 있다. 또한 챔버 내부의 진공을 잡아주기 위해 저 진공 시스템과 고 진공 시스템으로 구성되어 있으며, 내부 압력을 알 수 있도록 저 진공 게이지와 고 진공 게이지가 있다. 그리고 내부 플라즈마 발생을 관찰할 수 있는 view winodw가 설치되어 있다.