CAMECA
Nano SIMS 50
5년
주장비
분석
화합물 전처리·분석장비 > 질량분석장비 > 이차이온질량분석기
2009-03-23
2,618,078,194원
기관의뢰
이동형
시간별
163,000원
특징
- 50nm 크기의 일차이온을 시편에 주사시켜 방출되어지는 이차이온의 잘량을 측정하여 고체 시료 표면에 존재하는 미량 불순물의 분포 및 함량을 분석할 수 있다.
Ion source: O- and Cs+ Spatial resolution: 50nm Parallel collection of up to 5 species High mass resolution: M/dM > 5000 at 70% transmission